湖北洁净实验室建设中的温湿度控制
发布日期:2023-03-19 14:13:17 浏览次数:6441
实验室建设空间的温湿度重要是依据工艺请求来判断,但在满意工艺请求的前提下,应考虑到人的舒服度感。随着空气清洁度请求的进步,呈现了工艺对温湿度的请求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的请求当前还要列举,但作为总的准则看,因为加工精度越来越精巧,所以对温度稳定范畴的请求越来越小。
例如在大范围集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100 um的硅片,温度回升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时请求湿度值个别较低,因为人出汗当前,对产品将有沾染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。绝对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,假如产生在精巧装置或电路中,就会引起各种事变。
气压划定
对大局部清洁空间,为了避免外界沾染侵入,须要坚持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的坚持个别应合乎以下准则:
1.清洁空间的压力要高于非清洁空间的压力。
2.清洁度级别高的空间的压力要高于相邻的清洁度级别低的空间的压力。
压力差的坚持依附新风量,这个新风量要能弥补在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意思就是漏泄(或浸透)风量通过清洁室的各种缝隙时的阻力。
清洁室中的气流速度划定
这里要探讨的气流速度是指清洁室内的气流速度,在其余清洁空间中的气流速度在探讨具体设备时再说明。
对乱流清洁室 因为主重要靠空气的稀释作用来减轻室内沾染的水平,所以重要用换气次数这一律念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下请求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,跟单纯空调房间比较,请求速度衰减更快,扩散角度更大。实验室设计结构和设施、安全操作规程、安全设备适用于对健康成年人已知无致病作用的微生物,如用于教学的普通微生物实验室等。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,免得吹起名义微粒重返气流,而造成再沾染,这一速度个别不宜大干0.2m/s。
实验室装修即进行试验的场所。实验室是科学的摇篮,是科学研究的基地,科技发展的源泉,对科技发展起着非常重要的作用。
对平行流清洁室《习惯上称层流清洁室),因为重要靠气流的 ;活塞打挤压作用消除行染,所以截面上的速度就是十分重要的指标。从前都参考美国20gB标准,采取0.45m/s.但人们也都理解到这样大速度所须要的通风量是极大的,为了节能,也都在探究降落风速的可行性。
在我国,《空气清洁技巧办法》跟(清洁厂房设计标准)都是这样划定的
垂直平行流(层流)清洁室≥0.25m/s
水平平行流(层流)清洁室≥0.35 m/s
噪声把持
清洁
实验室建设噪声标准个别均严于维护健康的标准,目标在于保障操作畸形进行,满意必要的谈话接洽及保险舒服的工作环境。因此衡量清洁室的噪声重要指标是。
1.懊恼的效应
因为噪声,使人觉得不安定而产生懊恼情感,个别分为极宁静、很宁静、较宁静、稍嫌吵闹,比较吵闹跟极吵闹7个懊恼等级。实验室设计结构和设施、安全操作规程、安全设备适用于对健康成年人已知无致病作用的微生物,如用于教学的普通微生物实验室等。凡反应水平属于很吵闹跟极吵闹者,即为高懊恼,高烦宜人数在总人数中的百分比即为高懊恼率。
2.对工作效力的影响
这重要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精力,动作正确性,工作速度;
3.对综合通信的烦扰